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精密行星减速机的安装步骤如下：

1、确认电机和减速机是否完好无损，并且严格检查驱动电机与减速机相连接的各部位尺寸是否匹配。这里指的是驱动电机法兰的定位凸台和轴径与减速机配件，即法兰的定位凹槽和孔径间的尺寸及配合公差。

2、旋下减速机（低侧隙减速机）法兰侧面的工艺孔上的螺堵，旋动减速机的输入端，使抱紧内六角螺钉帽与工艺孔对齐，插入内六角工具旋松抱紧内六角螺钉。

3、手持驱动电机，使其轴上之键槽与减速机输入端孔抱紧螺钉垂直，将驱动电机轴插入减速机输入端孔。插入时必须保证两者同心度一致和二侧法兰平行。如同心度不一致或二侧法兰不平行必须查明原因。判断两者配合同心度和法兰平行的方法为：两者相互插入后，两者法兰基本贴紧，缝隙一致。

4、为保证两者法兰连接受力均匀，先将驱动电机紧固螺钉任意旋上，但不要旋紧；然后按对角位置逐渐旋紧四个紧固螺钉；最后旋紧减速机输入端孔抱紧螺钉。

5、重复检查减速机的安装面是否水平，并确认减速机无异常。

6、安装行星轮架，确保行星轮架与内齿圈的对中性。调整行星轮架的安装位置，以获得最佳的齿轮接触。调整行星轮架的固定螺栓，确保行星轮架牢固固定。

7、确认齿轮接触是否良好，并对行星轮架进行调整，以确保齿轮接触达到最佳状态。确认减速机的所有部件都已牢固固定，然后将密封件安装在减速机的端盖上。

8、检查减速机是否水平，确认无误后，将减速机盖板装上并固定。

9、连接电源并启动电机，检查减速机是否运行正常。

以上步骤仅供参考，如遇无法解决或不确定性的问题建议咨询专业人士。